| Lugar de origen: | China |
|---|---|
| Nombre de la marca: | BAXIT |
| Certificación: | CE |
| Número de modelo: | BXT-MPCVD |
| Cantidad de orden mínima: | 1 (Min. Order) |
| Precio: | USD149080- 150000Set|1 Set/Sets(Min. Order) |
| Tiempo de entrega: | DÍAS 5-8WORK |
| Condiciones de pago: | L/C, T/T, D/A, D/P |
| Capacidad de la fuente: | 5 |
| Frecuencia de funcionamiento: | 2450MHz | De potencia de salida: | 0,1 ~ 6 kilovatios continuamente ajustables |
|---|---|---|---|
| Estabilidad del poder: | mejor el de ±1% (@ situación clasificada) | Interfaz de la guía de onda de la salida: | BJ-26/22 con el reborde estándar FD-26/22 |
| Potencia de entrada: | 380VAC/50Hz, 5 alambre trifásico, 11kW | Corriente de enfriamiento: | 18L/min |
| Coeficiente de la onda de situación del sistema: | ≤ 1,5 de VSWR | Salida de la microonda: | cumpla los estándares nacionales |
| Tamaño y modo de trabajo: | Modo de Φ200 x 300 (h) TM |
| Generador y sistema de la microonda | Frecuencia de funcionamiento | 2450MHz |
| De potencia de salida | 0,1 ~ 6 kilovatios continuamente ajustables | |
| Estabilidad del poder | mejor el de ±1% (@ situación clasificada) | |
| Interfaz de la guía de onda de la salida | BJ-26/22 con el reborde estándar FD-26/22 | |
| Potencia de entrada | 380VAC/50Hz, 5 alambre trifásico, 11kW | |
| Corriente de enfriamiento | 18L/min | |
| Coeficiente de la onda de situación del sistema | ≤ 1,5 de VSWR | |
| Salida de la microonda | cumpla los estándares nacionales | |
| Cámara de la descarga de vacío de la microonda | Tamaño y modo de trabajo | Modo de Φ200 x 300 (h) TM |
| Área eficaz de la deposición | Φ50mm | |
| Gama del control de presión | 0.5KPa~30KPa | |
| Exactitud de control de presión | ±15Pa | |
| Adquisición del vacío | Solo crecimiento cristalino | tasa de crecimiento de 10-15μm/H, solo ≥ 1.6m m del grueso del crecimiento |
| Sola calidad cristalina | casi ningunos defectos debajo del ojo desnudo | |
| Sistema del vacío | Modo del escape | terraplén con N2 |
| Último grado del vacío | un mejor than8×10-4Pa | |
| Tarifa de la salida del vacío | ≤10-9pA.m3/s | |
| Subida de la presión | 24 horas de subida media de la presión son menos than1Pa/H |
| Sistema de flujo total del gas | Exactitud | 2%-100%F.S., inletpressureis0.2-0.3Mpa |
| Tipo y gama de gas | H2 (1SLM), CH4 (100SCCM), O2 (10SCCM), N2 (20SCCM) | |
| Sistema de la etapa de la muestra | Diámetro de la etapa de la muestra | Φ60mm, refrigerado por agua; |
| Gama de ajuste de muestra tabla |
0~15m m | |
| Gama de ajuste de la placa de la cavidad | 0~60m m | |
| Medida de la temperatura del substrato | medida infrarroja de la temperatura gama |
600~1200℃ (medida infrarroja de la temperatura) |
| Precisión del control de la temperatura | control de la temperatura precision±5℃; | |
| Gama del control de área de la temperatura constante | diferencia de la temperatura de cada punto del molibdeno platform≤30℃ | |
| Interfaz de dispositivo | Agua de la entrada y del mercado | " Alambre externo G1 |
| Conexión del gas | 1/4" alambre externo del VCR | |
| Interfaz de la descarga del extractor | 3/4" alambre externo | |
| Línea eléctrica | TB4506 | |
| Resistencia de aislamiento | ≥5MΩ | |
| Confiabilidad | la hora laborable continua y estable en condiciones normales no estará menos que 24H | |
| Fuente de alimentación total | 380VAC±5%/50Hz, 3phase5wire, 13kW | |
| Agua de enfriamiento total | 34L/min, agua suave limpia, temperatura del agua de la entrada es 20℃±5℃; La presión de agua es 0.2~0.4MPa | |
| Dimensiones | ~1,95 (L) x0.8 (W) x1.90 (H) m | |